在未加分析或未知用途、原理狀況下更不可拆卸泵浦。通常應首先試用調整的方式解決問題。若不可以湊效，才可考慮拆解修理或拆換零部件，而且應由專業技術人員進行。在拆解泵浦的過程中，應需注意如下細節：

　　拆解拆卸的工作場地必須要保持清潔，是在凈化車間內進行。
 

　　在真空泵在維修時，要*清楚泵浦中的潤滑油，同時也要考慮好怎樣解決廢真空泵油的回收，并把真空泵油排除干凈。泵浦拆卸時要用適度的工具，以防損壞零件等。拆卸時，個泵浦零件需妥善放好，并加以標示，為了組裝。

　　真空泵零部件精度較高，要需注意零件外表的保護，避免劃傷、碰傷等不良現象產生。在拆卸真空泵回油管時，要事前清除周邊的污垢。拆卸后，回油管開口處用干凈的塑料制品或石蠟制品堵住，以防雜質進到回油管內。同時需注意回油管的標示，為了組裝。在拆換O型圈、油封等密封件時不使用尖銳的工具，避免損害，O型圈組裝時，需注意密封圈不容許扭曲變形，要確保滑動過程中的潤滑性能。

　　真空泵安裝油管接頭，要需注意擰緊力度適度，不可太緊。回油管道通常是銅材質制造而成，用力過度會造成油管滑牙、變形。

　　真空泵安裝轉子等相對重的關鍵零部件，理應用支撐架或是別的工具支撐住，避免滑落造成損害。